MAU一次實現節能減廢 箱型濾網勝桶狀填充式濾網

（記者張芸瑄／綜合報導）目前半導體晶片製程走向更高密度的堆疊製程，金屬導線的線徑更是往2奈米尺寸靠攏，這表示製程環境需要更嚴苛的酸氣控管要求，在MAU（Make-up Air Unit）安裝除酸濾網已成為影響產品良率與空調潔淨度的重要防線。在過往早期廠區普遍使用桶狀填充式濾網，俗稱：炮筒式濾桶（Canister），雖結構簡易、可快速更換，但在高流量、低濃度酸氣環境下逐漸暴露限制。

炮筒式濾桶最早期無塵室（微米/次微米製程時代）為了初步解決氣態污染物，可能會對半導體製程造成影響所使用的化學濾網，具有安裝便利，材料充填方便，外桶可回收再使用等優點。但是初始過濾效能不佳與落塵問題一直都是炮筒是濾網的問題，在現今對於製程精密度要求越來越高的情況下，低濃度氣態污染物與微粒穿透，對於高潔淨度要求的廠房都是一大風險。再者，隨著ESG與能耗效應的議題逐漸發燒，炮筒式濾網一直存在的高壓損問題，對於空調箱的能耗是一個迫切要解決的問題。

相較之下，MAU箱型除酸濾網透過大面積濾材配置、均壓式空氣動線與高效率吸附分層設計，在導入現場呈現出更高的運轉穩定性，成為晶圓廠逐漸採納的主流方案。實際使用結果顯示：

一、風吹面積更大、風速更均勻

相較泡筒式濾網接觸面積有限、單點飽和速度快，MAU箱型濾網藉由加大截流面積，使氣流通過時壓差更平緩，風量更貼近計設值，降低局部負載產生的飽和風險。

二、初始過濾效能高、效能衰退更平滑

炮筒式濾桶受限於填充材料為顆粒狀原因，當濾材前段吸附飽和後，效能衰退會急速發生；相反地，箱型架構提供更深層濾材堆疊，吸附曲線呈現緩降，不易產生「瞬間失效」。對先進製程來說，這代表更高的安全性與更長的穩定期。

三、更利於風阻管理、降低維護不確定性

炮筒式濾桶常見有包含壓差阻力高、發/落塵量高、填充料前後吸附差異不易判讀等問題；而箱型濾網因流場分布均衡，壓差趨勢可預判、壽命評估更清晰的優點，工程端能提前設定更換時機，避免因效能遞減造成酸害外洩。

因箱型濾網具有上述優點，在需要額外加裝多道濾網時，箱型濾網框架更具有安裝方便，無需動火施工等優點，在現有半導體MAU過濾箱段中成為主流設計。而如果要加裝炮筒式濾桶，則需要評估整體MAU結構是否需要加強，因為炮筒式濾桶為單面吊掛，常有空調箱結構因受力不均問題，產生變形的問題，在後續加裝使用上必須更加審慎評估。

在多間晶圓製程現場導入後觀察到：

• 風阻更平穩，阻力均勻，初始過濾效能更穩定

• 濾網效能維持時間週期更長、可量化

• 施工安裝方便，維護週期判定清楚，不須依習慣猜測

• 更適用於低濃度酸氣與先進節點需求

炮筒式濾桶並非不能用，而是在製程進入更敏感階段後，風險緩衝已不足以支撐當前需求。箱型濾網提供的是更大的安全容量、更平穩的效能曲線，以及更可控的風險管理能力。

半導體製程走向前端，濾網選型也必須同步前進。不是過去用什麼就繼續用什麼，而是—— 什麼樣的濾網能在風險發生前守住產線，就該被放在第一順位。

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